제목

두 가지 환원제를 이용한 박막 증착 방법 및 이의 박막 증착 구조

출원인

연세대학교 산학협력단

공고일

2021.06.03

출원일

2019.04.25

공개일

2020.11.04

게시글 내용

 본 발명에 따르면, 제1 환원제를 이용하여 전구체를 환원시키는 제1 환원 반응과 제2 환원제를 이용하여 제1 환원 반응 단계에서 반응된 전구체를 환원시키는 제2 환원 반응을 이용하여 박막의 특성을 조절하는 두 가지 환원제를 이용한 박막 증착 방법 및 이의 박막 증착 구조가 개시된다. 

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