본 발명은 전이금속 디칼코게나이드 박막, 그 형성 방법 및 형성 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전이금속 원소와 칼코겐 원소의 화합물을 포함하는 전이금속 디칼코게나이드 박막의 제조 방법은, 상기 칼코겐 원소를 포함하는 칼코게나이드계 전구체를 준비하는 단계; 상기 전이금속 원소를 포함하는 전이금속 전구체를 준비하는 단계; 및 반응로 내에 상기 칼코게나이드계 전구체 및 상기 전이금속 전구체를 공급하여 성장 촉진제의 존재하에서 제 1 기판 상에 전이금속 디칼코게나이드 박막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
