본 발명은 구동 반사경 기반의 헤테로다인 간섭계 및 이를 이용한 센서가 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광신호를 출력하는 광원; 상기 광원에서 출력된 광신호를 반사광 및 투과광으로 분리하는 광분할기; 상기 반사광 및 투과광을 서로 다른 주파수로 변조하여 반사하는 구동 반사경; 및 상기 구동 반사경에 의해 주파수 변조된 광신호를 분석하는 검출부를 포함하는 헤테로다인 간섭계가 제공된다. 본 실시예에 따르면 저가의 비용으로 검출 정밀도를 높일 수 있는 장점이 있다.
