제목

주석 산화물 반도체용 조성물 및 주석 산화물 반도체 박막의 형성 방법

출원인

삼성디스플레이 주식회사, 연세대학교 산학협력단

공고일

2021.04.05

출원일

2013.07.08

공개일

2015.01.16

게시글 내용

 본 발명의 일 측면에 따라 주석 전구체 화합물, 안티몬 전구체 화합물 및 용매를 포함하는 주석 산화물 반도체 형성용 조성물을 제공한다. 본 발명의 다른 일 측면에 따라 주석 전구체 화합물, 안티몬 전구체 화합물을 용매에 녹인 조성물을 제조하는 단계; 상기 조성물을 기판에 도포하는 단계; 및 상기 조성물이 도포된 기판을 열처리하는 단계를 포함하는 주석 산화물 반도체 박막의 형성 방법을 제공한다. 

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