본 발명의 실시예들은 자기저항 장치(magnetoresistive device) 제조 방법을 제공한다. 상기 방법은, 자기저항 장치의 자기적 특성 및 자기저항적 특성이 개선될 수 있도록, 제1 기판으로부터 상기 자기저항 장치를 형성하기 위한 다층의 자기저항 구조를 릴리싱하여(releasing) 상기 다층의 자기저항 구조 내의 고유 응력을 이완시키는 것을 포함한다. 상기 자기적 특성 및/또는 상기 자기저항적 특성은, 비제한적으로, 상기 자기저항 장치의 보자성(coercivity), 스위칭의 각형비(squareness) 또는 비약성(abruptness), 자기저항성(magnetoresistance: MR) 및 저항성(magnetoresistance)을 포함한다.