모바일 메뉴 닫기
 
전체메뉴
닫기
 

산학협력단

보유 특허 검색

제목
튜브형 렌즈, 그 튜브형 렌즈를 포함한 OES 장치, 그 OES 장치를 포함한 플라즈마 모니터링 시스템 및 그 시스템을 이용한 반도체 소자 제조방법
출원인
삼성전자주식회사, 연세대학교 산학협력단
공고일
2022.06.30
출원일
2015.09.08
공개일
2017.03.16
게시글 내용
 본 발명의 기술적 사상은 플라즈마 공정에서의 플라즈마 상태를 정밀하게 검출하는데 이용할 수 있는 튜브형 렌즈, 그 튜브형 렌즈를 포함한 OES 장치, OES 장치를 포함한 플라즈마 모니터링 시스템 및 그 시스템을 이용한 반도체 제조방법을 제공한다. 그 튜브형 렌즈는 원통형 튜브; 광이 입사하는 상기 튜브의 입구 쪽에 배치되고, 중심 영역으로 상기 광의 투과가 차단된 제1 렌즈; 및 상기 광이 출사하는 상기 튜브의 출구 쪽에 배치된 제2 렌즈;를 포함한다. 

튜브형 렌즈, 그 튜브형 렌즈를 포함한 OES 장치, 그 OES 장치를 포함한 플라즈마 모니터링 시스템 및 그 시스템을 이용한 반도체 소자 제조방법 대표 이미지

첨부
공개전문PDF 공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
  • 키워드(검색어)별, 발명자별 특허(기술), 공개특허 한정 검색 가능
  • 연구분야별 비공개 특허(기술)은 지식재산권 담당자 별도 문의
  • 지식재산권 담당자
  • 관련 문의처
    보유특허 검색 페이지 및 담당자 정보 안내
    특허 출원인 (권리자) 전담부서 연락처
    연세대학교 산학협력단 본교 산학협력단 지식재산팀 지식재산팀 양지혜 팀장
    (02-2123-5138 / jh.yan@yonsei.ac.kr)
    연세대학교 원주산학협력단 원주산학협력단 기술경영팀 기술경영팀 오정환 팀장
    (033-760-5251 ~ 5252 / WJDGHKSA@yonsei.ac.kr)