불화된 그래핀을 마스크로 사용하여 접촉 저항이 낮은 2차원 물질 기반 전자 소자를 제작하는 방법
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2021.10.21
출원일
2019.05.15
공개일
2020.11.25
게시글 내용
본 발명은 전자 소자용 전극 구조체, 상기 전자 소자용 전극 구조체를 포함하는 2차원 전자 소자 및 상기 2차원 전자 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 전자 소자용 전극 구조체는 불화된(fluorinated) 접촉 표면을 갖는 그래핀 층; 및 상기 접촉 표면 상에 형성된 금속 층을 포함할 수 있다. 상기 그래핀 층의 하지에 2 차원 반도체 물질 층이 배치될 수 있고, 상기 불화된 접촉 표면을 갖는 그래핀 층은 상기 2 차원 반도체 물질 층을 패터닝하기 위한 식각 마스크로서 기능할 수 있다.
