본 발명은 칼코게나이드 재료 및 소자에 도핑된 탄소의 농도를 확인하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)에서 칼코게나이드의 탄소 도핑 농도가 달라짐에 따라 변화하는 원소 반응성 차이를 이용하여 현재의 탄소 도핑 농도를 확인하는 방법에 관한 것이다. 이 때, 탄소 도핑된 칼코게나이드의 측정 범위는 C-C 결합을 대표하는 284.5eV를 포함하지 않으므로 소자 및 재료의 오염에 관계없이 동일한 XPS의 특성을 가지며 다양한 환경에서 적용될 수 있다. 본 발명에 따르면 탄소 도핑된 칼코게나이드 재료 및 소자에 대해 경제적이고 안정적으로 도핑 농도를 확인 및 결정할 수 있다.