제목

기판 처리 방법

출원인

세메스 주식회사, 연세대학교 산학협력단

공고일

2021.03.09

출원일

2019.08.14

공개일

2021.02.24

게시글 내용

 본 발명은 기판을 처리하는 방법을 제공한다. 기판을 처리하는 방법은, 상기 기판으로 제1세정액을 공급하여 상기 기판을 세정하는 전처리 단계와; 상기 기판으로 제2세정액을 공급하고, 상기 제2세정액을 상변이 시켜 상기 기판에 부착된 파티클을 제거하는 후처리 단계를 포함하되, 상기 제1세정액은 다가 알코올 또는 일차 알코올 중 카본(Carbon) 수가 4 개 이상인 알코올을 포함할 수 있다. 

첨부

공개전문PDF 공고전문PDF