본 발명에 따른 표면탄성파 장치는, 압전물질을 포함하는 기판; 전기 신호가 인가되면 상기 기판을 따라 전파되는 표면탄성파를 발생시키는 신호전달부; 및 상기 기판에 결합되고 미세입자가 포함된 유체를 수용하는 수용공간과 상기 수용공간에서 상기 유체와 접촉하는 채널내벽이 마련되는 채널부;를 포함하고, 상기 채널부는, 상기 기판을 따라 상기 표면탄성파가 상기 유체로 전달될 때 상기 채널내벽과 상기 유체 사이의 경계면에서 발생하는 전반사를 감소시켜 상기 채널부 내부에 균일한 음향압력장을 유발하도록 상기 유체와 음속이 매칭되는 재료로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
