고압산소치료 실험을 위한 MFC 기반 가스 혼합 장치에 관한 것이며, 가스 혼합 장치는, 고압산소챔버, 복수의 기체를 공급하는 기체 공급부, 상기 복수의 기체의 혼합비를 결정하는 질량 유량 제어부, 상기 복수의 기체를 혼합하기 위한 혼합 탱크 및 상기 질량 유량 제어부를 제어하기 위한 제어 신호를 생성하는 구동 제어부를 포함하되, 상기 구동 제어부는, 상기 혼합 탱크 내의 상기 복수의 기체의 혼합비가 미리 설정한 비율에 대응하는 경우, 상기 혼합 탱크에 구비된 솔밸브의 구동을 제어하는 제어 신호를 생성할 수 있다.
