- 제목
- 음향파를 이용한 버블 제거 장치 및 이를 이용한 버블 제거 방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 공고일
- 2022.08.01
- 출원일
- 2020.04.29
- 공개일
- 2021.11.08
- 게시글 내용
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본 발명은 액체를 사용하는 디스플레이 패널이나 반도체 제조 공정 중 기판 상의 버블을 제거하기 위한 버블 제거 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 음향파를 이용하여 기판 상의 버블을 포집하고, 이를 원하는 곳으로 이동시켜 버블을 제거하는 음향파를 이용한 버블 제거 장치 및 이를 이용한 버블 제거 방법에 관한 것이다.
- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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