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제목: 금속 산화물 박막의 전기적 특성 향상 방법

출원인: 연세대학교 산학협력단

공고일: 2022.04.05

출원일: 2020.07.23

공개일: 2022.02.04

게시글 내용

 본 실시예들은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)으로 구현된 금속 산화물 박막에 형성된 하이드록실기 불순물의 감소를 통해 금속 산화물 박막의 유전율을 감소시켜 ILD(Inter-Layer Dielectric) 특성을 향상시키는 방법 및 반도체 장치를 제공한다.

금속 산화물 박막의 전기적 특성 향상 방법 대표 이미지

첨부: 공개전문PDF 공고전문PDF

자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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