본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광반응성 복합 소재를 이용한 미세 전자 기계 시스템 기반 정전식 감응 센서의 센싱 방법은, 광반응성 소재와 금속 소재로 이루어지는 캔틸레버 부분이 광의 세기 변화에 따라 벤딩되는 정도(기계적 움직임)가 달라지고, 캔틸레버 부분의 벤딩에 따라 양 전극 사이에 유도되는 정전 용량 변화를 감지하여 압력을 측정함으로써, 일반적인 환경에서의 압력 변화의 감지가 가능할 뿐만 아니라, 극한 환경(빛이 들어올 수 없는 곳에 매립하여 사용하는 경우 등)에서도 압력 변화의 감지가 가능하고, 광반응성 소재로 아조벤젠(Azobenzene)이 결합된 폴리디메틸사일록센(AzoPDMS)를 이용하면, AzoPDMS가 광의 세기가 증가함에 따라 벤딩되는 정도가 선형적으로 증가하는 특성을 나타내고 있기 때문에, 추가적인 회로 등을 직접하지 않아도 되어 전체 정전식 감응 센서의 구조가 단순화될 뿐만 아니라 제작 비용을 절감할 수 있다.