신경신호측정 및 신경자극이 가능한 필름형태의 플렉시블 전극 제조방법 및 플렉시블 전극 구조체, 이를 이용한 신경신호측정 및 신경자극 시스템
출원인
연세대학교 산학협력단, 가톨릭관동대학교산학협력단
공고일
2022.03.23
출원일
2020.11.17
게시글 내용
본 발명은 신경신호 측정 및 신경자극이 가능한 필름형태의 플렉시블 전극 제조방법으로서, 기판(100)이 마련되는 S1 단계; 상기 기판(100) 상에 플렉시블 필름(200)이 결합되는 S2 단계; 상기 플렉시블 필름(200) 상에 기 설정된 제1 개구부(310)가 형성되도록 돌출된 커버층(300) 패터닝이 구비되는 S3 단계; 상기 제1 개구부(310)에 전극층(400)이 형성되는 S4 단계; 상기 전극층(400) 상에 기 설정된 제2 개구부(320)가 형성되도록 돌출된 커버층(300) 패터닝이 구비되는 S5 단계; 및 상기 제2 개구부(320)에 전극층(400)이 형성되는 S6 단계를 포함한다.