인장 변형을 이용한 광 검출기 제조 방법, 이에 의해 제조되는 광 검출기, 및 그 제조 장치
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2023.10.18
출원일
2020.12.15
공개일
2022.06.23
게시글 내용
인장 변형을 이용한 광 검출기 제조 방법, 이에 의해 제조되는 광 검출기, 및 그 제조 장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 광 검출기 제조 방법은: 광 검출을 위한 활성 물질로 이루어지는 나노 멤브레인 어레이 패턴을 구비하는 연신성 박막을 준비하는 단계; 및 상기 연신성 박막에 인장 변형을 인가하여 광 검출 어레이 센서를 제조하는 단계를 포함한다.