Ｐｄ의 매립과 표면 결함을 동시에 발생시키는 ＳｎＯ２ 나노복합체를 포함하는 이산화질소 가스센서
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2023.02.23
출원일
2021.06.10
공개일
2022.12.19
게시글 내용
본 발명은 Pd가 매립되어 있는 SnO2-x 나노구조의 나노복합체를 포함하는 반도체용 NO2 가스 센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 SnO2 나노와이어 표면에 Pd 전구체 용액을 떨어뜨린 후 불꽃 화학 기상 증착하여 합성된 Pd가 매립되어 있는 SnO2-x 나노구조의 표면을 갖는 SnO2 나노와이어가 원래 그대로의 SnO2 나노와이어에 비해, NO2 가스에 대해 높은 응답성 및 선택성, 짧은 응답성 및 복구 시간 등의 우수한 NO2 감지 성능을 나타내고, 높은 RH 하에서 높은 응답성을 나타냄으로써 우수한 반도체용 NO2 가스 센서로 유용하게 사용할 수 있는 것에 관한 것이다.
