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산학협력단

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제목
액체 금속을 이용한 생체신호 측정용 3차원 미세 전극 어레이 제조시스템 및 제조방법
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2023.11.29
출원일
2021.07.02
공개일
2022.04.15
게시글 내용
 본 발명은 기 설정된 압력을 액체금속 분사부(300)에 인가 또는 해제하는 가압부(100); 상기 가압부(100)의 압력을 액체금속 분사부(300)로 공급하는 공급부(200); 상기 공급부(200)를 통해 가압부(100)의 압력이 가해지면, 수용된 액체금속을 미세 노즐(310)을 통해 외부로 토출하는 액체금속 분사부(300); 및 복수개의 다축조절부(410)에 의해 횡방향 및 종방향으로 이동가능한 작업대(400)를 포함하며, 상기 작업대(400)에 기판(10)이 배치하고, 기판(10) 상에 분사된 액체금속으로 미세 전극 생성지점(21)을 포함하는 2차원 구조의 액체금속 패턴(20)이 형성된 후, 상기 미세 전극 생성지점(21) 상에 3차원 구조의 액체금속 미세 전극(30)이 형성되는 것을 특징으로 하는 액체 금속을 이용한 생체신호 측정용 3차원 미세 전극 어레이 제조시스템이다. 

액체 금속을 이용한 생체신호 측정용 3차원 미세 전극 어레이 제조시스템 및 제조방법 대표 이미지

첨부
공개전문PDF 공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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    (02-2123-5138 / jh.yan@yonsei.ac.kr)
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