- 제목
- 실리콘 질화막 식각 조성물 및 이를 이용한 식각방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 공고일
- 2022.04.25
- 출원일
- 2021.08.05
- 게시글 내용
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본 발명은 실리콘 질화막 식각 조성물 및 이를 이용한 식각방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 실리콘 질화막과 실리콘 산화막이 동시에 표면에 노출되거나 실리콘 질화막과 실리콘 산화막이 교대로 적층되어 있는 수직 적층구조에서 실리콘 산화막의 식각은 억제하고 실리콘 질화막을 선택적으로 식각하는 가압용 식각 조성물 및 이를 이용한 식각방법에 관한 것이다.
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- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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