주사전자현미경을 사용한 쇼트키 다이오드의 제조방법 및 이에 따라 제조된 쇼트키 다이오드에 관한 것으로써, 주사전자현미경(SEM)을 사용하여 쇼트키 다이오드를 제조하므로, 장비 활용, 장비 구비, 대량 생산 및 전자빔 리소그래피 자체의 복잡한 공정과 같은 기존 전자빔 리소그래피를 진행하기 위해 고려해야 되는 다양한 요소들을 배제함으로써 생산에 필요한 다양한 시간적, 공간적 비용을 줄일 수 있으며, 생산공정 감소로 인해 생산단가 감소 및 수율이 증가하는 장점이 있다.
