선택적 원자층 증착법을 이용한 회복 특성이 개선된 이차원 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 가스 센서
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2024.03.28
출원일
2022.03.07
공개일
2023.09.14
게시글 내용
본 실시예들은 이차원 전이금속 칼코겐화합물(TMD) 기반의 가스 센서의 회복도를 높이기 위한 방식으로 2D TMD 기반 가스 센서 위에 원자층 증착법으로 차단 물질을 합성하여 TMD 물질의 결함 영역을 줄여 회복도를 개선하고, 원자층 증착법의 사이클 수를 적절한 범위로 설정하여 회복도 제어가 가능한 가스 센서 및 그 제조 방법을 제공한다.
