마이크로 니들 제조 기판의 플라즈마 처리모듈, 마이크로 니들 제조기판 합착 장비 및 이의 제어방법
출원인
연세대학교 산학협력단, 주식회사 주빅
공고일
2023.09.18
출원일
2022.11.02
공개일
2022.11.22
게시글 내용
본 발명은 마이크로 니들의 생산을 자동화 시킬 수 있는 마이크로 니들 제조 기판의 플라즈마 처리모듈, 마이크로 니들 제조기판 합착 장비 및 이의 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명의 마이크로 니들 제조기판의 플라즈마 처리모듈은, 설치면에 놓여지는 베이스 상에 설치되는 높이조절기둥; 상기 높이조절기둥으로부터 상기 베이스에 수평하게 연장되는 플라즈마 보; 상기 플라즈마 보의 하측면에 결합되며, 상기 플라즈마 보의 하측을 경유하는 제1기판 또는 제2기판 중 적어도 어느 하나의 표면을 플라즈마 처리하는 플라즈마 유닛; 을 포함하여, 상기 제1기판 또는 제2기판의 이송중에 상기 제1기판 또는 제2기판중 적어도 어느 하나의 표면을 플라즈마 처리한다.